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長谷川 洋 -Hiroshi
Hasegawa-
略歴
昭和62年 北海道大学工学部原子工学科卒業
昭和電工株式会社入社
平成 9年 渡辺国際特許商標事務所入所
弁理士登録(登録番号11097)
趣味:山登り、ゴルフ、その他色々
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会社時代の仕事内容
エンジニアリングセラミックスの高靭性化
炭化珪素、窒化珪素などの非酸化物系セラミックス、アルミナ、ジルコニア等の酸化物系セラミックスの脆性を改善する研究開発に従事。
脆性改善の手法として、粒子分散型強化方法および繊維強化型強化法を行い、従来のセラミックスの破壊靭性を30%以上向上させた。
また、セラミックス焼結体の微細構造の解析を行い、結晶粒子のアスペクト比と破壊靭性の相関を調べた。
研磨材の開発その1
TFT用ガラスのポリシング研磨材の開発に従事。特に、酸化セリウムを主とする希土類酸化物の特性と、研磨速度および面精度との関係を追求した。
また、酸化セリウムには、他の希土類酸化物と異なり、ガラスに対する化学的作用が強いという知見を得る。
さらに、バストネサイト、フッ化希土等の原料の違いによる研磨材の性能を調べた。フッ素成分の存在が研磨速度の向上に寄与する知見を得た。
研磨材の開発その2
シリコンウェハ用ラッピング材の開発に従事した。
研磨材の主原料であるアルミナとジルコニアの組成比および粒度分布と、研磨性能との関係を追求する。また、ジルコニア成分の存在意義についても調べた。